本装置は、ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）です。
プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。
剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。
洗浄は、2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。
収納は、カセット (25枚入) の上段～又は下段からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。
OHT搬送に対応しております。