■概要
・クリーンロボットを応用したシステムです。
・300mmのウェーハを1枚単位で、カセット (容器) A～Bへ搬送します。
・対応するカセット (容器) は、FOUP ・ FOSB ・ OPEN ・ PFAです。
・1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の搬送も対応可能です。
・カセット間でウェーハを安全に一括搬送 ・ スロット指定搬送 (同一キャリア内搬送可) 致します。
・カセットからウェーハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。
■特徴
・省スペース
・静電気対策型
・光及び機械センサーでエラーを監視
・マッピングセンサー付き
・FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応
・クラス10クリーンルーム対応