PHT株式会社

石英ガラスウェーハ移載装置 PGT2020

次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。

製品キーワード

石英ガラス石英ガラスウェーハ石英ガラスウェーハ移載装置ウェーハ移載装置移載機

本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。

使用するカセットは、ＦＯＵＰ・ＦＯＳＢキャリアです。

基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。