PHT株式会社

ウェーハカセットチェンジャー PCT2022

次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。

製品キーワード

ウェーハカセットチェンジャー搬送装置移載機移載装置

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。

使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。