PHT株式会社

3軸クリーンロボット PHT-R-3

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

製品キーワード

ロボットクリーンロボット搬送ロボットウェーハ搬送ロボット

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