PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。