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ガラス基板用クリーンロボット PHT2200
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ガラス基板用クリーンロボット PHT2200
本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。
前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)の動作が可能でウエーハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
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