ガラス基板製品一覧

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ガラス基板用クリーンロボット PHT2200

本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。
前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）の動作が可能でウエーハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

クリーンロボットロボット搬送ロボットウェーハ搬送ロボットガラス基板ガラス基板用クリーンロボット

メーカー・取り扱い企業：PHT株式会社

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