ウェーハ搬送ロボット製品一覧

本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。
前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）の動作が可能でウエーハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。