ガラス基板用クリーンロボット製品一覧

本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。
前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）の動作が可能でウエーハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。